Oferty zespołów > Miniaturyzacja w ochronie środowiska/zdrowia oraz w bezpieczeństwie narodowym

Oferent:

Miniaturyzacja w ochronie środowiska/zdrowia oraz w bezpieczeństwie narodowym


woj. Politechnika Wrocławska Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki
53-633 Wrocław
ul. Długa 61


prof. dr hab. inż. Jan Dziuban

http://www.iati.pl/

Oferta

Laboratorium mikroinżynierii MEMSLab

Domena: Wyposażone jest między innymi w linię technologiczną do wytwarzania mikrosystemów ze szkła, krzemu i polimerów, w tym:

  • stanowiska do wielowarstwowego bondingu anodowego krzemu i szkła,
  • stanowisko do bondingu fuzyjnego,
  • stanowisko do plazmowej obróbki mikroinżynieryjnej cienkich warstw,
  • stanowisko do fotolitografii,
  • drukarkę 3D do prototypizacji i wytwarzania mikrostruktur,
  • stanowisko chemiczne do przygotowywania i trawienia podłoży krzemowych i szklanych,
  • stanowiska do testów optycznych i biochemicznych mikrosystemów analitycznych,
  • stanowisko do symulacji komputerowych struktur MEMS (COMSOL).