Oferty zespołów > Nanotechnologie

Oferent:

Nanotechnologie


woj.
50-370 Wrocław
Wyb. Wyspiańskiego 27


dr hab. inż. Karol Malecha
Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Politechnika Wrocławska

http://iati.pl

Oferta

Laboratorium struktur półprzewodnikowych i nanotechnologii

Domena:

Laboratorium wyposażone jest w następująca aparaturę:

  • system epitaksjalny firmy Aixtron z głowicą homogenizująca z clean roomem o pow. 250 m 2,
  • stanowisko do trawienia RIE firmy Oxford Instruments Plasma 80 Plus,
  • stanowisko do osadzania techniką CVD Oxford Instruments Plasma 80 Plus,
  • stanowisko do trawienia ICP CVD i osadzania warstw DLC Oxford Instruments Plasma 100,
  • system epitaksjalny firmy Aixtron R&D 200 do epitaksji heterostruktur AIIIBV-N.